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半導(dǎo)體專用顯微鏡，從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。
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