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室溫半自動(dòng)探針臺(tái) TZ-H-06室溫自動(dòng)探針臺(tái)，高可靠性探針臺(tái)系統(tǒng)，主要應(yīng)用在半導(dǎo)體/微電子， 電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMs，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
干式液氦溫區(qū)探針臺(tái) LHe-6H-06產(chǎn)品特點(diǎn)，真空腔體：真空度優(yōu)于610-4 Pa。降溫后優(yōu)于610-5 Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）。
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