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簡要描述:干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06產(chǎn)品特點,真空腔體:真空度優(yōu)于610-4 Pa。降溫后優(yōu)于610-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)。
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△ 真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4 Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜);
△ 探針控制:標配6個探針臂。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜;
△ 顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物鏡時),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦;
△ 變溫樣品臺:直徑標配50mm,可選配150mm。變溫范圍:6K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;
△ 可選配接入光纖,可將一根或幾根電學探針替換為光纖;
△ 系統(tǒng)直流漏電低于1pA;
△ 產(chǎn)品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
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