簡要描述:壓電物鏡NF100LA采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺優(yōu)秀的運動精度。
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產品描述
采用壓電陶瓷驅動的納米級物鏡掃描臺,內部使用無摩擦及空回的柔性較鏈導向機構,確保了掃描臺優(yōu)秀的運動精度。掃描臺內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。掃描臺為無磁材質,使用過程中不產生磁場同時也不受磁場的影響。聚焦行程可達100微米。分體的螺紋適配器,可適配多種型號的物鏡。
產品特點
聚焦行程為100um,分辨率為4nm
優(yōu)異的導向精度,適配器使用靈活
內置高性能的壓電陶瓷
開/閉環(huán)可供選擇
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