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簡要描述:PicoFemto電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng)原位解決方案,將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。
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產(chǎn)品描述
PicoFemto掃描電鏡原位氣氛加熱環(huán)境測量系統(tǒng),將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上,在掃描電鏡中制造可控的氣氛環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱。該系統(tǒng)允許研究者在氣氛環(huán)境中原位、動態(tài)、高分辨地對樣品的形貌結(jié)構(gòu)和化學(xué)組分進(jìn)行綜合表征,大大拓展了掃描電鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。該產(chǎn)品可實現(xiàn)1 Bar & 800 ℃的觀測條件,使研究者可以在掃描電鏡中實時觀測催化反應(yīng)、氧化還原反應(yīng)、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應(yīng),將您的掃描電鏡從一臺靜態(tài)成像工具升級為一套功能強大的納米實驗室。
氣體流動指標(biāo):
△ 三通道混氣;
△ 氣壓范圍:0 - 1 Bar;
△ 氣壓準(zhǔn)確度:30 mBar;
△ 氣體流速: 0.01 - 0.4 ml/min;
△ 可通氣體:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;
△ 軟件控制。
掃描電鏡指標(biāo):
△ 兼容類型電鏡;
△ 保證電鏡原有真空度;
△ MEMS反應(yīng)微腔指標(biāo):
△ 高質(zhì)量氮化硅膜厚度30 nm;
△ 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。
熱學(xué)指標(biāo):
△ 溫度范圍:室溫至800 ℃;
△ 溫度準(zhǔn)確度:優(yōu)于5%;
△ 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;
△ 四電極加熱,帶溫度反饋;
△ 軟件控制。
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